1、目的
本试验的目的是测定MEMS器件承受高温和低温的能力，以及高温与低温交替变化对器件的影响。2、设备
所用高低温试验箱在加载负荷时，应能为工作区提供和控制规定的温度。热容量和空(的流量必须能使工作区和负载满足规定的试验条件和计时要求。在试验期间，用温度指示器或自动记录仪显示监测传感器的读数来连续监视坏情况的负载温度。对样品的热传导应减至小。3、程序
样品的安放位置不应妨碍样品四周空气的流动。当需要特殊地安置样品时，应作具体规定。样品应在规定条件下连续完成规定的循环次数。采用试验条件C至少循环10次。一次循环包括第1步至第2步或适用的试验条件，必须无中断地完成，才能算作一次循环。在完成规定的试验循环总次数期间，为了进行器件批的加载或去载，或由于电源或设备故障，允许中断试验。然而，如果中断次数超过规定的循环总次数的10%时，不管任何理由，试验必须重新从头开始进行。3.1计时
从热到冷或从冷到热的总转换时间不得超过1min。当坏情况负载温度是处在表1规定的极值范围之内时，可以转移负载，但停留时间不得少于10min，负载应在15min内达到规定的温度。3.2检验
后一次循环完成之后，不放大或放大不超过3倍对样品标志进行检验，放大20~50倍对外壳、引线或封口进行目检(但当本试验用于99%的筛选时至少应放大1.5倍进行检验)。本项检验和任何补充规定的测量及检验，都应在后一次循环完成之后进行，或者在包括本试验的某试验组、步或分组完成时进行。
3.3失效判据
试验后，任何规定的终点测量或检验不合格，外壳、引线或封口的缺陷或损坏迹象，或标志模糊，均应视为失效。试验期间，由于夹具或操作不当造成标志的损坏，不应影响器件的接收。
