1、目的
本试验的目的是确定MEMS器件在遭到温度剧变时的抵抗能力，以及温度剧变产生的作用。2、设备
所用的冷热冲击试验箱在加载负荷时，应能为工作区提供并控制规定的温度。热容量和液体流量必须能使工作区和负载满足规定的试验条件和计时要求。在试验期间用指示仪或记录仪显示监视传感器的读数，来连续监视坏情况负载温度。按验证冷热冲击试验箱工作特性的要求，验证负载条件和配置下的坏情况负载温度。用于条件B和C的过碳氟化合物应满足表1的规定。
3、程序
样品应放于冷热冲击试验箱中的合适位置，使液体在样品周围的流动不应受到阻碍，然后根据表2的规定，使负载进行条件B或其他规定的试验条件进行15次循环。在完成规定试验总循环数期间，为了进行器件批的加载或去载，或由于电源或设备故障，允许中断试验。然而，对任何给定的试验，若中断次数超过规定循环总次数的10%时，试验必须重新从头开始。3.1 计时
从热到冷或从冷到热的总转换时间不得超过10s。 当坏情况负载温度达到表2规定的极，值范围内时，可以转换负载。负载应在5min内达到规定的温度，但停留时间不得少于2min。
3.2 检验
后一次循环完成之后，不放大或放大不超过3倍对样品标志进行外观检验，放大20~50倍对外壳、引线或封口进行目检(当本试验用于99% 的筛选时至少应放大1.5倍进行检验)。本项检验和任何补充规定的测量及检验，都应在后一次循环完成之后进行，如果某试验组、步或分组包括本试验，则在该试验组、步或分组完成之后进行。
3.3失效判据
试验后，任何规定的终点测量或检验不合格，外壳、引线或封口的缺陷或损坏迹象，或标志模糊，均应视为失效。试验期间由于夹具或操作不当造成标志损坏，不应影响器件的接收。
